EP 管通過電化學(xué)拋光工藝實現(xiàn)內(nèi)壁 Ra≤0.2μm的鏡面級光滑度,這一指標(biāo)直接決定其在超純介質(zhì)輸送中的表現(xiàn):
微觀結(jié)構(gòu)優(yōu)化:電拋光過程中,金屬表面微觀凸起被選擇性溶解,形成 “玻璃狀” 鈍化層,消除機械拋光導(dǎo)致的晶界損傷和應(yīng)力集中。這種結(jié)構(gòu)使 316L 不銹鋼的耐晶間腐蝕性能提升 3 倍(ASTM A262 Practice E 測試)。
污染物控制:通過 X 射線光電子能譜(XPS)檢測,EP 管表面碳、硫等雜質(zhì)含量低于 0.1at%,且顆粒殘留≤5 個 /㎡(≥0.3μm),滿足 ISO Class 5 潔凈度要求(GB/T 36057-2018)。在半導(dǎo)體特氣輸送中,這種表面能避免納米級顆粒析出,確保晶圓缺陷率 < 0.1ppm(SEMI F19-1105)。
流體動力學(xué)優(yōu)勢:光滑表面使層流狀態(tài)臨界雷諾數(shù)較 BA 管提高 18%,壓降減少 22%(《高純氣體管道工程設(shè)計規(guī)范》HG/T 20679-2014),顯著降低能耗并提升系統(tǒng)穩(wěn)定性。